EN 
EN
DA
NL
FI
FR
DE
IT
JA
KO
NO
PL
PT
RO
RU
ES
SV
TL
ID
SK
UK
VI
TH
TR
FA
BE
LA
UZ
Dayung Kantilever SiC
Paddle Kantilever SiC dari Semixlab adalah komponen rekayasa presisi yang dirancang untuk penanganan wafer dalam proses semikonduktor suhu tinggi seperti epitaksi, oksidasi, dan CVD. Terbuat dari silikon karbida rekristalisasi atau CVD dengan kemurnian tinggi, paddle ini menawarkan konduktivitas termal yang sangat baik, ekspansi termal yang rendah, dan ketahanan kimia yang luar biasa. Desainnya yang ringan dan berkekuatan tinggi memastikan stabilitas dimensi dan perlindungan wafer selama siklus termal yang cepat. Dipercaya oleh para pemimpin semikonduktor global, Semixlab menyediakan solusi yang sepenuhnya dapat disesuaikan, pengiriman cepat, dan masa pakai produk yang panjang—menjadikannya mitra ideal untuk kebutuhan manufaktur semikonduktor tingkat lanjut.
Uraian Teknis
Ⅰ. Dayung Kantilever SiC Kemurnian Tinggi untuk Penanganan Wafer Presisi
Paddle Kantilever SiC merupakan komponen penting yang digunakan dalam peralatan pemrosesan termal untuk menangani wafer selama tahap epitaksi, difusi, dan oksidasi dalam fabrikasi semikonduktor. Sifat termal dan mekanisnya yang luar biasa menjadikannya ideal untuk lingkungan bersuhu tinggi dan korosif dalam operasi ruang bersih.
II. Ikhtisar Produk & Keunggulan Fungsional
1. Sifat Material Luar Biasa untuk Aplikasi Berkinerja Tinggi
Paddle Kantilever SiC dari Semixlab terbuat dari lapisan silikon karbida (R-SiC) atau CVD SiC rekristalisasi dengan kemurnian tinggi, memberikan konduktivitas termal yang sangat baik (hingga 120 W/m·K), ekspansi termal rendah (~4.0 x 10⁻⁶/K), dan ketahanan yang luar biasa terhadap korosi dan guncangan termal. Sifat-sifat ini memastikan dukungan wafer yang stabil selama proses suhu tinggi, meminimalkan risiko deformasi atau kontaminasi wafer.
2. Stabilitas Dimensi dan Kerataan yang Unggul
Dengan lengkungan minimal bahkan pada suhu di atas 1400°C, desain kantilever memastikan penempatan dan pemindahan wafer yang seragam, yang sangat penting untuk keseragaman lapisan epitaksial. Massa rendah dan kekakuan SiC yang tinggi meningkatkan throughput sistem dan respons suhu selama pemrosesan termal yang cepat.
3. Kemurnian Permukaan Kelas Ruang Bersih
Berkat lapisan permukaan SiC yang padat dan halus, dayung Semixlab meminimalkan pembentukan dan pelepasan partikel. Hal ini khususnya penting di lingkungan yang mensyaratkan tingkat kebersihan Kelas 1 atau ISO 14644-1 Kelas 2.
4. Dirancang khusus untuk tungku epitaksial, difusi, dan CVD
Paddle Kantilever SiC kami banyak digunakan dalam platform MOCVD, LPCVD, dan tungku oksidasi, kompatibel dengan merek peralatan terkemuka seperti ASM, TEL, dan Veeco. Paddle ini dirancang untuk keseragaman termal dan presisi mekanis yang optimal, membantu memastikan hasil yang lebih tinggi dan variasi proses yang lebih rendah.
3. Mengapa Memilih Semixlab?
Kami menyediakan layanan rekayasa yang disesuaikan, termasuk:
● Kustomisasi produk untuk ukuran, struktur, dan tingkat material
● Optimalisasi pelapisan untuk ketahanan termal dan kimia
● Kemampuan pembuatan prototipe cepat dan produksi dalam jumlah kecil
● Konsultasi teknis dan validasi desain
Sebagai produsen dan pabrik terkemuka di Tiongkok untuk produk SiC Cantilever Paddles, Semixlab berkomitmen untuk menyediakan teknologi dan solusi produk yang dapat disesuaikan. Baik Anda ingin mengoptimalkan proses perlakuan panas yang ada, membeli suku cadang pengganti berkinerja tinggi, atau bersama-sama mengembangkan solusi SiC yang dapat disesuaikan, Semixlab akan menyediakan dukungan teknis dan pengiriman.
Aplikasi
● Pembawa wafer epitaksi MOCVD
● Lengan dayung tungku oksidasi dan difusi
● Sistem pemuatan wafer pada alat LPCVD/CVD
● Lengan pendukung susceptor yang disesuaikan untuk pertumbuhan semikonduktor majemuk
Layanan Kami
Toko Produk Semixlab
